资料介绍
摘要:介绍了在Si+注入的n—GaAs沟道层下面用Be+或Mg+注入以形成P埋层。采用此方法做出了同值电压0~0.2V,跨导大干100mS/Mm的E型GaAs MESFET,也做出了夹断电压-0.4~-0.6V、跨导大干100mS/mm的低阀值D型GaAs MESFET。
关键词:P埋层,砷化萱,增强型场我应管,低阀值耗尽型场效应营
关键词:P埋层,砷化萱,增强型场我应管,低阀值耗尽型场效应营
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