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分析了分布式微机电系统特点，对基于多主体控制的分布式微机电系统构成进行了研究，提出了采用多主体技术实现分布式MEMS控制的框架。对系统的模型、微机电主体的结构、行为策略进行了形式化表示，给出了控制算法，并在此基础上开发了原型系统。This paper analyzes the characteristics of distributed Micro Electromechanical System (MEMS) and studies components of MEMS based on multi-agent technology. Then, the control architecture of distributed MEMS designed with multi-agent technology is presented. The system model, structure of micro electromechanical agent, and behavior decision are expressed in formal approach. An algorithm is developed for the controlling the behavior decision and production in distributed real-time MEMS. And a prototype system is realized based on the algorithm.
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