资料介绍
摘要:论述了铜互连取代铝互连的主要考虑,介绍了铜及其合金的淀积、铜图形化方法、以及铜与低介电常教材料的集成等。综述了ULSI片内铜互连技术的发展现状。
关键词;集成电路;铜互连;铜淀积;铜图形化;ULSI
关键词;集成电路;铜互连;铜淀积;铜图形化;ULSI
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