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论述了电子气体输送系统的各种技术现状和特点，并就高纯度、大流量、严格的安全
措施和大力降低建设成本四个方面预测了其发展趋势。
关键词： 电子气体，特种气体，大宗特气，输送系统，纯度控制
1． 现状
电子气体是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光等电子工业生产不可缺少的原材料，它们广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。例如在目前工艺技术较为先进的超大规模集成电路工厂的晶圆片制造过程中，全部工艺步骤超过450 道，其中大约要使用50 种不同种类的电子气体。电子气体输送系统是指为满足工艺制程的需求，在充分保证工艺和产品安全使用的前提下，将电子气体从气源端无二次污染、控制工艺需求的流量和压力等参数、稳定地输送到工艺生产设备的用气点。根据气体性质和供应包装的不同，一般电子气体可划分为大宗普通气体、特种气体和大宗特种气体。
措施和大力降低建设成本四个方面预测了其发展趋势。
关键词： 电子气体，特种气体，大宗特气，输送系统，纯度控制
1． 现状
电子气体是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光等电子工业生产不可缺少的原材料，它们广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。例如在目前工艺技术较为先进的超大规模集成电路工厂的晶圆片制造过程中，全部工艺步骤超过450 道，其中大约要使用50 种不同种类的电子气体。电子气体输送系统是指为满足工艺制程的需求，在充分保证工艺和产品安全使用的前提下，将电子气体从气源端无二次污染、控制工艺需求的流量和压力等参数、稳定地输送到工艺生产设备的用气点。根据气体性质和供应包装的不同，一般电子气体可划分为大宗普通气体、特种气体和大宗特种气体。
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