电子发烧友App
创作
发文章
发帖 
提问 
发资料
发视频资料介绍
采用电子辅助化学气相沉积法(EA-CVD)制备掺氮金刚石薄膜，研究了不同氮气流量对金刚石膜的生长速率、表面形貌和膜品质的影响。实验发现，在较低的氮气流量下，金刚石膜的生长速率增加，在较高的氮气流量下生长速率减小。利用SEM、Raman光谱、XPS等测试手段对样品的表面形貌及品质进行了表征。结果表明，当氮气流量为4sccm时金刚石膜的结晶比较完整；当氮气流量为8sccm时生成与(100)面共存的“菜花状”。氮气流量的进一步增加，“菜花”表面(100)晶面显露的数量明显降低，非金刚石碳含量和氮杂质含量增加，金刚石膜的品质明显下降。
关键词：金刚石膜；氮气；生长速率；表面形貌；膜品质；EA-CVD方法
在天然金刚石和人造金刚石中，氮元素是一种不可忽略的代表性杂质。以氮杂质含量为依据天然金刚石可分为I型和II型金刚石[1]。I型金刚石根据氮杂质在基体中的不同存在形式细分为Ia和Ib型。目前，对天然金刚石和高温高压金刚石中氮的存在状态以及其对金刚石性质的影响已有广泛而深入的研究，而氮掺杂对CVD金刚石膜影响的报道很少。CVD金刚石膜为多晶材料，含有大量晶界、非金刚石相以及多种缺陷，研究氮在金刚石膜中的存在方式及对金刚石膜特性的影响具有较大的实际意义。据文献报道，氮杂质除了对结构和形貌的影响外[2]，已经证实氮杂质还对金刚石膜的物理性能也有很明显的影响，例如光学透过性能、热导性能和电子发射性能等[3,5]。本文系统地研究了掺氮金刚石膜的结构、形貌与品质的变化。
下载该资料的人也在下载
下载该资料的人还在阅读
更多 >
- 如何才能生成金刚石散热片和CVD金刚石散热的应用介绍
- 金刚石压机压力误差补偿的PID控制研究 0次下载
- 金刚石散热片的生成方法及在微波射频领域的应用解析 0次下载
- 金刚石压机智能控制系统电路设计方案 0次下载
- 基于W77E58的金刚石压机测控系统设计
- 压阻式金刚石压力传感器的优化设计
- 人造金刚石压机嵌入式控制系统设计An Embedded Control System f
- 基于IPC 与PLC 相结合的金刚石合成机控制系统的研制
- P掺杂类金刚石薄膜的制备及生物学行为研究
- CVD金刚石厚膜晶格缺陷分析
- 乙醇对金刚石膜生长特性的影响
- 负偏压增强金刚石膜与衬底结合强度的理论研究
- 真空电弧离子镀膜方法沉积类金刚石膜在PMMA树脂义齿表面的应
- 金刚石磨轮的电火花成形磨削加工
- 基于ZnO金刚石Si结构的瑞利波频散特性计算
- CVD金刚石在机械密封领域中的应用 1022次阅读
- 金刚石表面改性技术研究概况 1431次阅读
- 高功率连续波单频589nm金刚石钠导星激光器研究 991次阅读
- 异质外延单晶金刚石及其相关电子器件的研究进展 1755次阅读
- 基于金刚石优异内在特性的光子学应用 746次阅读
- 制造等离子纳米金刚石 807次阅读
- 金刚石半导体的特点 金刚石半导体的应用市场 3036次阅读
- 金刚石晶格约束下二维固态氦盘的晶体结构介绍 1334次阅读
- 天然气流量计安装要求_天然气流量计的校验周期 8962次阅读
- 空气流量传感器怎么清洗 2.2w次阅读
- 空气流量传感器工作原理_空气流量传感器的作用 1.8w次阅读
- 金刚石基氮化镓（GaN）技术的未来展望 1.5w次阅读
- 激光焊接金刚石锯片的一些参量检测 768次阅读
- 三分钟带你了解金刚石散热片的生成方法及在微波射频领域的应用 9166次阅读
- 金刚石合成控制系统中多串口通信技术的设计与实现 867次阅读
上传资料赚积分下载排行
本周
- 1电子电路原理第七版PDF电子教材免费下载
- 0.00 MB | 1491次下载 | 免费
- 2单片机典型实例介绍
- 18.19 MB | 93次下载 | 1 积分
- 3S7-200PLC编程实例详细资料
- 1.17 MB | 27次下载 | 1 积分
- 4笔记本电脑主板的元件识别和讲解说明
- 4.28 MB | 18次下载 | 4 积分
- 5开关电源原理及各功能电路详解
- 0.38 MB | 11次下载 | 免费
- 6100W短波放大电路图
- 0.05 MB | 4次下载 | 3 积分
- 7基于AT89C2051/4051单片机编程器的实验
- 0.11 MB | 4次下载 | 免费
- 8基于单片机的红外风扇遥控
- 0.23 MB | 3次下载 | 免费
本月
- 1OrCAD10.5下载OrCAD10.5中文版软件
- 0.00 MB | 234313次下载 | 免费
- 2PADS 9.0 2009最新版 -下载
- 0.00 MB | 66304次下载 | 免费
- 3protel99下载protel99软件下载(中文版)
- 0.00 MB | 51209次下载 | 免费
- 4LabView 8.0 专业版下载 (3CD完整版)
- 0.00 MB | 51043次下载 | 免费
- 5555集成电路应用800例(新编版)
- 0.00 MB | 33562次下载 | 免费
- 6接口电路图大全
- 未知 | 30320次下载 | 免费
- 7Multisim 10下载Multisim 10 中文版
- 0.00 MB | 28588次下载 | 免费
- 8开关电源设计实例指南
- 未知 | 21539次下载 | 免费
总榜
- 1matlab软件下载入口
- 未知 | 935053次下载 | 免费
- 2protel99se软件下载(可英文版转中文版)
- 78.1 MB | 537791次下载 | 免费
- 3MATLAB 7.1 下载 (含软件介绍)
- 未知 | 420026次下载 | 免费
- 4OrCAD10.5下载OrCAD10.5中文版软件
- 0.00 MB | 234313次下载 | 免费
- 5Altium DXP2002下载入口
- 未知 | 233046次下载 | 免费
- 6电路仿真软件multisim 10.0免费下载
- 340992 | 191183次下载 | 免费
- 7十天学会AVR单片机与C语言视频教程 下载
- 158M | 183277次下载 | 免费
- 8proe5.0野火版下载(中文版免费下载)
- 未知 | 138039次下载 | 免费
工商网监
评论