电子发烧友App

硬声App

0
  • 聊天消息
  • 系统消息
  • 评论与回复
登录后你可以
  • 下载海量资料
  • 学习在线课程
  • 观看技术视频
  • 写文章/发帖/加入社区
会员中心
创作中心

完善资料让更多小伙伴认识你,还能领取20积分哦,立即完善>

3天内不再提示
电子发烧友网>电子资料下载>电子论文>电源技术论文>直流磁控溅射电源研制及输出特性研究

直流磁控溅射电源研制及输出特性研究

2010-06-27 | rar | 95 | 次下载 | 5积分

资料介绍

摘要:磁控溅射技术在薄膜制备领域广泛应用,电源是磁控溅射镀膜的关键设备之一。本文介绍了全桥逆变直流磁控溅射电源主电路和控制电路的设计,该电源输出功率2kW,采用PI恒流控制,具有过流保护。通过阻性负载测试表明电源具有很好恒流特性,在输出功率超过400W时电源效率比较高。利用氮气/氩气不锈钢靶直流磁控溅射实际的等离子体负载测试表明:在保证真空室内压力不变的前提下,随着氮气比例的增加,电压下降,但电源恒流效果好,工作稳定。
关键词:磁控溅射;电源;全桥变换;恒流
下载该资料的人也在下载 下载该资料的人还在阅读
更多 >

评论

查看更多

下载排行

本周

  1. 1电子电路原理第七版PDF电子教材免费下载
  2. 0.00 MB  |  1490次下载  |  免费
  3. 2单片机典型实例介绍
  4. 18.19 MB  |  93次下载  |  1 积分
  5. 3S7-200PLC编程实例详细资料
  6. 1.17 MB  |  27次下载  |  1 积分
  7. 4笔记本电脑主板的元件识别和讲解说明
  8. 4.28 MB  |  18次下载  |  4 积分
  9. 5开关电源原理及各功能电路详解
  10. 0.38 MB  |  11次下载  |  免费
  11. 6100W短波放大电路图
  12. 0.05 MB  |  4次下载  |  3 积分
  13. 7基于AT89C2051/4051单片机编程器的实验
  14. 0.11 MB  |  4次下载  |  免费
  15. 8基于单片机的红外风扇遥控
  16. 0.23 MB  |  3次下载  |  免费

本月

  1. 1OrCAD10.5下载OrCAD10.5中文版软件
  2. 0.00 MB  |  234313次下载  |  免费
  3. 2PADS 9.0 2009最新版 -下载
  4. 0.00 MB  |  66304次下载  |  免费
  5. 3protel99下载protel99软件下载(中文版)
  6. 0.00 MB  |  51209次下载  |  免费
  7. 4LabView 8.0 专业版下载 (3CD完整版)
  8. 0.00 MB  |  51043次下载  |  免费
  9. 5555集成电路应用800例(新编版)
  10. 0.00 MB  |  33562次下载  |  免费
  11. 6接口电路图大全
  12. 未知  |  30320次下载  |  免费
  13. 7Multisim 10下载Multisim 10 中文版
  14. 0.00 MB  |  28588次下载  |  免费
  15. 8开关电源设计实例指南
  16. 未知  |  21539次下载  |  免费

总榜

  1. 1matlab软件下载入口
  2. 未知  |  935053次下载  |  免费
  3. 2protel99se软件下载(可英文版转中文版)
  4. 78.1 MB  |  537791次下载  |  免费
  5. 3MATLAB 7.1 下载 (含软件介绍)
  6. 未知  |  420026次下载  |  免费
  7. 4OrCAD10.5下载OrCAD10.5中文版软件
  8. 0.00 MB  |  234313次下载  |  免费
  9. 5Altium DXP2002下载入口
  10. 未知  |  233046次下载  |  免费
  11. 6电路仿真软件multisim 10.0免费下载
  12. 340992  |  191183次下载  |  免费
  13. 7十天学会AVR单片机与C语言视频教程 下载
  14. 158M  |  183277次下载  |  免费
  15. 8proe5.0野火版下载(中文版免费下载)
  16. 未知  |  138039次下载  |  免费