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电子发烧友网>电子资料下载>电子论文>传感器技术论文>容性耦合射频(CCRF)放电等离子体特性实验研究

容性耦合射频(CCRF)放电等离子体特性实验研究

2009-06-23 | rar | 120 | 次下载 | 3积分

资料介绍

利用自行研制的传感器和测量装置,通过对射频放电电压电流以及其相位角的测定,算出放电管的总阻抗,结合放电管的等效电路,对容性耦合射频(CCRF) 激励激光器放电特性进行研究,得出容性耦合射频激励激光器等离子体的伏安特性的曲线,以及等离子体电阻、容抗与气体压强、放电电流之间的实验曲线,在Godyak 射频放电模型的基础上得出等离子体的电子密度,并同内置铜电极射频激励铜离子激光器阻抗特性进行了比较。
关键词 容性耦合射频放电 等效电路模型 放电特性
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