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介绍了一种特殊结构的电容式力传感器。从结构设计、工作原理、电路设计对该电容式力传感器进行了分析、论述。并且提供了相应的实验数据。传感器非线性误差小于1 %。
关键词: 电容式力传感器; 结构; 频率变化量
Abstract : The specific structure capacitive force sensor ,principle and circuit design are introduced , the related experiment data is given out . The linear distortion of sensor is smaller than 1 %.
Key words : capacitive force sensor ; structure ; frequency variation
关键词: 电容式力传感器; 结构; 频率变化量
Abstract : The specific structure capacitive force sensor ,principle and circuit design are introduced , the related experiment data is given out . The linear distortion of sensor is smaller than 1 %.
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