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采用扩散硅绝对压力传感器为检测部件,研制出高精度绝对压力计,重点介绍绝对压力计的工作原理及为提高仪表精确度所进行的温度补偿。
关键词: 绝对压力计; 高精度; 温度补偿
Abstract : A high accuracy pressure gauge has been developed ,a diffused silicon absolute pressure transducer wasused as sensing element ,and theory of the absolute pressure gauge and the measures of temperature compensation for improve the accuracy of the gauge were introduced in detail.
Key words : absolute pressure gauge ; high accuracy ; temperature compensation
关键词: 绝对压力计; 高精度; 温度补偿
Abstract : A high accuracy pressure gauge has been developed ,a diffused silicon absolute pressure transducer wasused as sensing element ,and theory of the absolute pressure gauge and the measures of temperature compensation for improve the accuracy of the gauge were introduced in detail.
Key words : absolute pressure gauge ; high accuracy ; temperature compensation
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