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主要论述硅谐振微传感器中微现象测量。讨论了微现象测量中有关的技术:激励功率控制,超声频谐振频率的测量,频率特性的测定,品质因数的确定,克服电热效应的不良影响,同频干扰的抑制等。
关键词: 信息处理; 微现象测量; 谐振微传感器
Abstract : Micro phenomena measurement to silicon resonant microsensor are resented in this paper. The main testing tecnologies are :controling the excitation of the micro structure ,measuring the supersonic resonant frequency ,testing the freguency characteristic ,determining the quality factor ,overcomining the blight of electro2thermo effect ,restraining the ca2 pacitor2coupled interference.
Key words : Information processing ;Micro phenomena measurement ;Resonant microsensor
关键词: 信息处理; 微现象测量; 谐振微传感器
Abstract : Micro phenomena measurement to silicon resonant microsensor are resented in this paper. The main testing tecnologies are :controling the excitation of the micro structure ,measuring the supersonic resonant frequency ,testing the freguency characteristic ,determining the quality factor ,overcomining the blight of electro2thermo effect ,restraining the ca2 pacitor2coupled interference.
Key words : Information processing ;Micro phenomena measurement ;Resonant microsensor
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