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针对双光纤F—P 干涉仪测量高精度表面粗糙度的原理, 提出波长的空间扫描方法, 并对其构成进行了分析。
关键词 光纤传感器 粗糙度测量 波长扫描
Abstract The space scan method of wavelength is put fo rward fo r the p rincip le of the dual FFP I senso r measur2 ing p recise surface roughness, and it s basic const ruct ion is discussed.
Key words Op t ical fiber senso r Roughness measurement Wavelength scanning
关键词 光纤传感器 粗糙度测量 波长扫描
Abstract The space scan method of wavelength is put fo rward fo r the p rincip le of the dual FFP I senso r measur2 ing p recise surface roughness, and it s basic const ruct ion is discussed.
Key words Op t ical fiber senso r Roughness measurement Wavelength scanning
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