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电子发烧友网>电子资料下载>电子论文>传感器技术论文>电容式加速度传感器结构的计算机仿真

电容式加速度传感器结构的计算机仿真

2009-07-18 | rar | 899 | 次下载 | 3积分

资料介绍

针对硅梁论述了微机电容式加速度传感器工作原理,应用有限元分析方法对三种不
同的硅梁结构对加速度计进行结构建模,并模拟分析了三种不同的梁的加速度计结构的第一和第二模态,$% 加速度下的挠度,以及存在预应力情况下结构的第一、第二模态响应频率,得到了最优的双梁结构,并在试验中得到验证,最终研制出了高水平的电容式加速度传感器。
关键词:加速度传感器;有限元;计算机仿真;微机械
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