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电子发烧友网>电子资料下载>电子论文>传感器技术论文>一种闭环自激式驱动的硅微机械电场传感器

一种闭环自激式驱动的硅微机械电场传感器

2010-02-10 | rar | 221 | 次下载 | 5积分

资料介绍

该文提出了一种闭环自激式驱动的微型电场传感器方案。利用自动增益控制的原理实现闭环自激驱动,使得微传感器能够始终工作在谐振状态,且振动幅度保持稳定。用matlab-simulink 工具对系统进行了仿真,结果表明,当传感器的谐振频率发生0.5%的漂移时,系统可以重新捕捉并锁定到新的谐振频率,和开环驱动方案相比,传感器振幅的衰减度从30%降低到0.1%之内,灵敏度从缩减50%改进到缩减0.1%之内。
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