电子发烧友App
创作
发文章
发帖 
提问 
发资料
发视频资料介绍
本文阐述了石英晶片真空蒸发镀膜测控的基本原理和镀膜过程中石英晶片谐振频率变化与镀膜厚度之间的关系。主要研究了以W77E516 单片机为核心，配合其它相关芯片完成石英晶片真空蒸发镀膜过程测控系统的工作原理和实现方案，重点阐述了该系统的硬件设计和软件设计方法。
关键词：石英晶片 谐振频率 蒸发镀膜
在工业生产过程中通过对石英晶片两面镀上银层使其谐振频率达到目标值。蒸发镀膜在真空度为毫帕级的状态下完成，真空状态具有无尘和无气流干扰的优点，是理想的镀膜环境。
由于镀层是超薄的,这对镀膜测控系统的精度提出了非常高的要求，提高镀膜膜厚的测控精度是真空蒸发镀膜工艺的技术关键与难点。传统的石英晶片镀膜膜厚控制方法采用镀膜时间控制法,即从控制镀膜时间的长短达到控制膜厚的目的，这种方法精度不高。为了提高石英晶片的镀膜精度，采用了一种新型镀膜测控方法，将待镀的石英晶片（以下称为石英晶片）与一片作为标准的石英晶片（以下称为标晶）置于同一真空蒸发镀膜环境下,在镀膜过程中石英晶片和标晶的镀层厚度都会增加,并且它们的膜层增长速率成一定的比率关系。通过实时监测标晶谐振频率的变化，可以推算出标晶上镀层膜厚的变化，进而推算出被镀石英晶片膜厚的变化，达到控制石英晶片镀膜厚度的目的，使镀膜后石英晶片的谐振频率达到目标值。
关键词：石英晶片 谐振频率 蒸发镀膜
在工业生产过程中通过对石英晶片两面镀上银层使其谐振频率达到目标值。蒸发镀膜在真空度为毫帕级的状态下完成，真空状态具有无尘和无气流干扰的优点，是理想的镀膜环境。
由于镀层是超薄的,这对镀膜测控系统的精度提出了非常高的要求，提高镀膜膜厚的测控精度是真空蒸发镀膜工艺的技术关键与难点。传统的石英晶片镀膜膜厚控制方法采用镀膜时间控制法,即从控制镀膜时间的长短达到控制膜厚的目的，这种方法精度不高。为了提高石英晶片的镀膜精度，采用了一种新型镀膜测控方法，将待镀的石英晶片（以下称为石英晶片）与一片作为标准的石英晶片（以下称为标晶）置于同一真空蒸发镀膜环境下,在镀膜过程中石英晶片和标晶的镀层厚度都会增加,并且它们的膜层增长速率成一定的比率关系。通过实时监测标晶谐振频率的变化，可以推算出标晶上镀层膜厚的变化，进而推算出被镀石英晶片膜厚的变化，达到控制石英晶片镀膜厚度的目的，使镀膜后石英晶片的谐振频率达到目标值。
下载该资料的人也在下载
下载该资料的人还在阅读
更多 >
- 基于数控系统单片机测控技术应用与实现
- AD7706芯片在单片机测控系统中的应用
- 基于单片机水温检测控制和报警系统设计
- 基于单片机PID算法的直流电机测控系统
- 测控系统中单片机抗干扰实验综述 2次下载
- 基于微机与单片机的微机管理测控网络系统设计 6次下载
- 单片机的各种控制与检测应用设计 9次下载
- 使用单片机进行温湿度测控系统的设计资料合集 38次下载
- 石英晶片外观缺陷自动分选控制技术研究 3次下载
- 基于AT89C51单片机的大棚环境测控系统 14次下载
- 单片机测控系统在医疗护理中的应用 77次下载
- 基于VB与单片机的温度测控系统设计
- 基于单片机的汽车刹车片实时温控系统
- 单片机测控系统的软硬件平台技术
- C8051F206单片机在动态设备测控系统中的应用
- 单片机的最小系统由什么组成 单片机的最小系统包括哪些 8003次阅读
- 单片机最小系统原理图讲解 1.2w次阅读
- 单片机最小系统的组成部分 使用proteus软件搭建最小单片机系统的操作方法 1755次阅读
- 单片机应用系统的开发流程 6254次阅读
- PIC单片机和51单片机谁更容易于学习 3646次阅读
- 单片机最小系统的振荡电路原理分析 1.2w次阅读
- 单片机应用系统的结构及工作原理 9119次阅读
- 51单片机和52单片机有什么区别 7.3w次阅读
- 51单片机如何进行模块化编程 3.2w次阅读
- 51单片机怎么驱动直流电机c语言 2w次阅读
- 单片机最小系统板制作方法 2.3w次阅读
- 51单片机串口通信编程 1.2w次阅读
- 单片机控制继电器_51单片机控制继电器详解 7.2w次阅读
- 基于FPGA的多单片机通信网络 2077次阅读
- 单片机有什么特点_为什么要学习单片机？ 1w次阅读
上传资料赚积分下载排行
本周
- 1电子电路原理第七版PDF电子教材免费下载
- 0.00 MB | 1490次下载 | 免费
- 2单片机典型实例介绍
- 18.19 MB | 93次下载 | 1 积分
- 3S7-200PLC编程实例详细资料
- 1.17 MB | 27次下载 | 1 积分
- 4笔记本电脑主板的元件识别和讲解说明
- 4.28 MB | 18次下载 | 4 积分
- 5开关电源原理及各功能电路详解
- 0.38 MB | 11次下载 | 免费
- 6100W短波放大电路图
- 0.05 MB | 4次下载 | 3 积分
- 7基于AT89C2051/4051单片机编程器的实验
- 0.11 MB | 4次下载 | 免费
- 8基于单片机的红外风扇遥控
- 0.23 MB | 3次下载 | 免费
本月
- 1OrCAD10.5下载OrCAD10.5中文版软件
- 0.00 MB | 234313次下载 | 免费
- 2PADS 9.0 2009最新版 -下载
- 0.00 MB | 66304次下载 | 免费
- 3protel99下载protel99软件下载(中文版)
- 0.00 MB | 51209次下载 | 免费
- 4LabView 8.0 专业版下载 (3CD完整版)
- 0.00 MB | 51043次下载 | 免费
- 5555集成电路应用800例(新编版)
- 0.00 MB | 33562次下载 | 免费
- 6接口电路图大全
- 未知 | 30320次下载 | 免费
- 7Multisim 10下载Multisim 10 中文版
- 0.00 MB | 28588次下载 | 免费
- 8开关电源设计实例指南
- 未知 | 21539次下载 | 免费
总榜
- 1matlab软件下载入口
- 未知 | 935053次下载 | 免费
- 2protel99se软件下载(可英文版转中文版)
- 78.1 MB | 537791次下载 | 免费
- 3MATLAB 7.1 下载 (含软件介绍)
- 未知 | 420026次下载 | 免费
- 4OrCAD10.5下载OrCAD10.5中文版软件
- 0.00 MB | 234313次下载 | 免费
- 5Altium DXP2002下载入口
- 未知 | 233046次下载 | 免费
- 6电路仿真软件multisim 10.0免费下载
- 340992 | 191183次下载 | 免费
- 7十天学会AVR单片机与C语言视频教程 下载
- 158M | 183277次下载 | 免费
- 8proe5.0野火版下载(中文版免费下载)
- 未知 | 138039次下载 | 免费
工商网监
评论