资料介绍
计了一种具有单一检测质量的力平衡式三轴微加速度计.采用硅一硅键合工艺形成作为单一检测质量
块的硅片组合,利用全差分电容检测法实现对加速度三轴分量的检测.通过提高检测质量的重心,有效增加了x、y
轴的灵敏度.利用ANSYS仿真软件对该微加速度计进行了模态及静力学分析,提出了优化设计参数.3个检测模态
(1阶、2阶和3阶模态)的频率分别为1.329 kHz、1.345 kHz和2.174 kHz.通过优化设计,提高了3阶模态和4阶
模态的频率差距,降低了其他高阶模态的干扰.在1009(g为重力加速度)的z向加速度作用下,悬臂梁所受的最
大应力为46 MPa,小于单晶硅的弯曲极限值70~200 MPa.静力学分析表明,加速度计的悬臂梁结构参数能够满足
加速度计的力学性能要求.
块的硅片组合,利用全差分电容检测法实现对加速度三轴分量的检测.通过提高检测质量的重心,有效增加了x、y
轴的灵敏度.利用ANSYS仿真软件对该微加速度计进行了模态及静力学分析,提出了优化设计参数.3个检测模态
(1阶、2阶和3阶模态)的频率分别为1.329 kHz、1.345 kHz和2.174 kHz.通过优化设计,提高了3阶模态和4阶
模态的频率差距,降低了其他高阶模态的干扰.在1009(g为重力加速度)的z向加速度作用下,悬臂梁所受的最
大应力为46 MPa,小于单晶硅的弯曲极限值70~200 MPa.静力学分析表明,加速度计的悬臂梁结构参数能够满足
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