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光刻

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光刻是平面型晶体管和集成电路生产中的一个主要工艺。是对半导体晶片表面的掩蔽物（如二氧化硅）进行开孔，以便进行杂质的定域扩散的一种加工技术。

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光刻技术

芯片是如何制造的

中兴事件让我们认识了中国的“芯”痛，那么小小芯片为什么这么难制造？今天小编给你介绍一下流程。

2019-01-03 标签：芯片晶圆光刻 20.6万 0

半导体术语中英文对照大全！

芯片圈（微信：xinpianquan）

2018-08-04 标签：半导体光刻显影 2.7万 0

详细解析芯片光刻的步骤

刻的基本原理是利用光致抗蚀剂（或称光刻胶）感光后因光化学反应而形成耐蚀性的特点，将掩模板上的图形刻制到被加工表面上。

2018-01-09 标签：芯片光刻 1.7万 0

芯片光刻的工序流程详细资料讲解

在集成电路的制造过程中，有一个重要的环节——光刻，正因为有了它，我们才能在微小的芯片上实现功能。现代刻划技术可以追溯到190年以前，1822年法国人Ni...

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干货！光刻技术的原理和EUV光刻技术前景

光刻是集成电路最重要的加工工艺，他的作用，如同金工车间中车床的作用。在整个芯片制造工艺中，几乎每个工艺的实施，都离不开光刻的技术。

2019-03-02 标签：光刻 EUV 1.1万 0

光刻工艺的8个基本步骤光刻机结构及工作原理

摩尔定律 Intel创始人之一摩尔1964年提出，大约每隔12个月： 1）。芯片能力增加一倍、芯片价格降低- -倍; 2）。广大用户的福音、行业人...

2022-08-29 标签：光刻光刻机 1.1万 0

芯片制作环节光刻的详细流程详解

在集成电路的制造过程中，有一个重要的环节——光刻，正因为有了它，我们才能在微小的芯片上实现功能。现代刻划技术

2019-04-20 标签：芯片晶体管光刻 1.0万 0

Mattson利用欧洲的IMEC为低k/铜工艺开发光刻胶去除技术

Mattson Technology Inc.表示，它正与欧洲IMEC合作位于比利时鲁汶的微电子研发中心共同开发新的光刻胶和残留物去除工艺。

2019-08-13 标签：光刻 PCB打样华强PCB 8195 0

cmp是什么意思 cmp工艺原理

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2023-07-18 标签：光刻 CMP 晶圆制造 7050 1

纳米压印光刻技术的详细介绍

在过去的几年中，纳米压印光刻引起了越来越多的兴趣。事实上，似乎有越来越多的潜在纳米压印应用和基本纳米压印光刻概念的变化。不同的纳米压印变体对于特定的最终...

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光学光刻和EUV光刻中的掩膜与晶圆形貌效应

对先进光刻掩膜光衍射的精密EMF模拟已成为预知光刻模拟的必做工作。

2012-05-04 标签：晶圆光刻 EUV 6873 0

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2022-03-28 标签：工艺光刻蚀刻 6845 0

微流控芯片的发展及制造工艺介绍

微全分析系统的概念是在1990年首欠由瑞士Ciba2Geigy公司的Manz与Widmer提出的，当时主要强调了分析系统的微与全，及微管道网络的MEMS...

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浅析光刻技术的原理和EUV光刻技术前景

光刻是集成电路最重要的加工工艺，他的作用，如同金工车间中车床的作用。在整个芯片制造工艺中，几乎每个工艺的实施，都离不开光刻的技术。光刻也是制造芯片的最关...

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光刻技术：光学关键尺寸测量（OCD）原理

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2023-05-24 标签：集成电路光刻 OCD 5183 0

十大步骤详解芯片光刻的流程

在集成电路的制造过程中，有一个重要的环节——光刻，正因为有了它，我们才能在微小的芯片上实现功能。现代刻划技术可以追溯到190年以前，1822年法国人N...

2023-02-16 标签：芯片集成电路半导体 4865 0

Silvaco TCAD工艺技术参数及其说明

•OPTOLITH模块可对成像(imaging)，光刻胶曝光(exposure)，光刻胶烘烤（bake）和光刻胶显影（development）等工艺进行精确定义

2022-03-15 标签：仿真光刻 4367 0

回顾半导体技术趋势及其对光刻的影响分析与应用

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2019-08-28 标签：半导体嵌入式存储器 4207 0

3D晶圆键合装备的工艺过程及研发现状

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2023-04-20 标签：集成电路晶圆光刻 3623 0

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光刻法是微电子工艺中的核心技术之一，常用于形成半导体设备上的微小图案。过程开始于在硅片上涂布光刻胶，随后对其进行预热。接着，选择一种光源（如深紫外光或X...

2023-06-09 标签：半导体工艺光刻 3161 0

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