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标签 > 光刻
光刻是平面型晶体管和集成电路生产中的一个主要工艺。是对半导体晶片表面的掩蔽物(如二氧化硅)进行开孔,以便进行杂质的定域扩散的一种加工技术。
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今年4月开始,台积电第一代7nm工艺(CLN7FF/N7)投入量产,苹果A12、华为麒麟980、高通“骁龙855”、AMD下代锐龙/霄龙等处理器都正在或...
全球首台!苏大维格光刻设备投入运行;台积电上半年专利申请数量375件夺冠…
7月28日,中国台湾地区有关单位公布统计指出,受到疫情影响,今年上半年中国台湾地区专利申请件数为33,954件,与去年同期相比下降4%;发明专利申请人中...
在国际半导体领域,我国虽已成为半导体生产大国,但整个半导体产业链仍比较落后。特别是由于国内光刻胶厂布局较晚,半导体光刻胶技术相较于海外先进技术差距较大,...
2020-03-06 标签:光刻 4273 0
世界领先半导体厂商台积电首席技术官兼研发副总裁孙元成透露了未来台积电主导“系统超级芯片”市场的详细计划。
今年10月份SK Hynix才刚刚建成最新的M15晶圆厂,这是2015年全球最大的存储芯片工厂M14落成时SK Hynix宣布的46万亿韩元投资计划中的...
不使用EUV突破1nm极限?美国推出全新光刻系统,分辨率0.768nm!
电子发烧友网报道(文/梁浩斌)最近,一家名为Zyvex Labs的美国公司宣布推出亚纳米分辨率的光刻系统Zyvex Litho 1,据称分辨率可以达到0...
台积电 | 首次加入EUV极紫外光刻技术 7nm+工艺芯片已量产
台积电官方宣布,已经开始批量生产7nm N7+工艺,这是台积电第一次、也是行业第一次量产EUV极紫外光刻技术,意义非凡。
随着三星宣布7nm EUV工艺的量产,2018年EUV光刻工艺终于商业化了,这是EUV工艺研发三十年来的一个里程碑。不过EUV工艺要想大规模量产还有很多...
美国泛林宣布与ASML、IMEC合作开发出新的EUV光刻技术 成本大幅降低
2月28日,美国泛林公司宣布与ASML阿斯麦、IMEC比利时微电子中心合作开发了新的EUV光刻技术,不仅提高了EUV光刻的良率、分辨率及产能,还将光刻胶...
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