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标签 > 刻蚀工艺
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深反应离子刻蚀工艺,是实现高深宽比特性的重要方式,已成为微加工技术的基石。这项刻蚀技术在众多领域均得到了应用:1)MEMS电容式惯性传感器;2) 宏观设...
2020-10-09 标签:刻蚀工艺 1.5万 0
W刻蚀工艺中使用SF6作为主刻步气体,并通过加入N2以增加对光刻胶的选择比,加入O2减少碳沉积。在W回刻工艺中分为两步,第一步是快速均匀地刻掉大部分W,...
PVP可以在刻蚀过程中形成一层保护性的膜,降低刻蚀剂对所需刻蚀材料的腐蚀作用。它可以填充材料表面的裂缝、孔洞和微小空隙,并防止刻蚀剂侵入。这样可以减少不...
半导体产业中,制造工工程被称为工艺(Process),理由是什么?虽然没有明确的答案,但与其说加工尺寸微小(目前是nm制程),不如说制造过程无法用肉眼看到所致。
下图显示了Intel的第6代晶体管(6T)SRAM尺寸缩小时间表,以及多晶硅栅刻蚀技术后从90nm到22nm技术节点6TSRAM单元的SEM图像俯视视图...
原沸石是非结晶的,如粉末 X 射线衍射 (XRD) 图案所示。扫描电子显微镜 (SEM) 和透射电子显微镜 (TEM) 图像显示,原沸石是大小约为5-2...
据“中科院微电子研究所”消息,为了更好地解决SOT-MRAM的刻蚀技术难题以实现SOT-MTJ的高密度片上集成,同时研究不同的刻蚀工艺对器件磁电特性的影...
说到湿法刻蚀了,这个是专业的技术。我们也得用专业的内容才能给大家讲解。听到这个工艺的话,最专业的一定就是讲述湿法刻蚀步骤。你知道其中都有哪些步骤吗?如果...
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