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微机电系统

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微机电系统（MEMS， Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。

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微机电系统帖子

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基于电容一频率转化原理的电容接口电路

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安泰超声功率放大器在MEMS微机电系统中的应用

MEMS即微机电系统（Micro Electromechanical System），是一种在微米级别设计的微型机械系统，包括微传感器、微执行器、信号处...

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MEMS产业火热！未来怎么发展？四位院士解读

MEMS集微传感器、微执行器和微能源等形成独立智能系统，融合微电子技术和微机械技术，演化而成新兴产业。MEMS制造技术广泛应用于航空航天、汽车、生物医疗...

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Bosch Sensortec 博世传感器选型应用，一篇文章带你了解博世Bosch

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简介与挑战微机电系统（MEMS）利用硅的电学和机械特性，将机械结构和电子结构集成在一起，用于检测加速度、旋转、角速度等。MEMS设备的核心组件包括一个垂...

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聚焦MEMS！这个重点实验室揭牌

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基于微机电系统的智能手表

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苏州敏芯获MEMS麦克风结构专利

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