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标签 > 微机电系统
微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级,是一个独立的智能系统。
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MEMS全称Micro Electromechanical System,微机电系统。是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置,其内部结构一般在微米甚至纳米...
可能大部分对MEMS还是比较陌生,但其实MEMS在生活中早已无处不在了,智能手机、手环、汽车、无人机、VR/AR头戴式设备等,都应用了MEMS器件。
MEMS芯片(微电子机械系统芯片)是一种新型的集成芯片,也可以被称为微机电系统芯片(Micro-electromechanical System Chi...
什么是MEMS传感器?mems传感器的组成和应用分类有哪些?
传感器发展到今天,小型化、智能化、集成化,已经是升级换代的必由之路。今天,我们来为大家介绍一下传感器家族的mini型产品 MEMS传感器。 什么是MEM...
源自微电子,MEMS制造的优势在于批处理。就像其它任何产品,MEMS器件规模量产加大了它的经济效益。如同集成电路制造,MEMS制造中光刻方法往往最具成本...
2019-08-29 标签:微机电系统 9885 0
如何借助高均匀性的 SOI 优化衬底在 MEMS 中实现多种设计创新?
微机电系统 (Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS) 是迄今最具潜力的 CMOS 传感器与驱动器电子器件集成解决...
设备由MEMS领域应用转化到3D集成技术领域,表现出高对准精度特点。大多数对准、键合工艺都源于微机电系统(MEMS)制造技术,但应用于3D集成的对准精度...
MEMS传感器的原理和构造深入解读 MEMS电容式传感器MEMS压阻式加速度计
MEMS传感器是当今最热门的传感器种类,MEMS技术使传感器微型化、低功耗、集成化成为可能,是未来传感器技术的发展方向之一。 本文编译自传感器宝...
MEMS发展迅速,Yole Development预计2023年市场规模超300亿美元
MEMS 产业链一般由芯片设计企业、晶圆制造厂商、封装测试厂商和终端应用企业构成,芯片设计企业专注于 MEMS 芯片及其产品结构的设计,完成设计后交由第...
1969年,美国的Wallis和Pomerantz两位研究人员首次提出了阳极键合技术,其键合方法如图1所示。阳极键合目前在硅片与玻璃键合中得到了较为广泛...
微流控技术最初源自于微机电系统(micro-electromechanical system, MEMS)在微量流体操控方面的研究,形成于20世纪90年...
MEMS电容式加速度传感器(简介) MEMS传感器即微机电系统是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域,与传统的传感器相比,它具有体积小、...
微机电设备的尺寸通常在20微米到一毫米之间,它们内部通常包含一个微处理器和若干获取外界信息的微型传感器。
MEMS被认为是21世纪最有前途的技术之一,如果半导体微制造被视为第一次微制造革命,MEMS则是第二次革命。通过结合硅基微电子技术和微机械加工技术,ME...
USound推基于微机电系统(MEMS)的对患者安全的扬声器
为个人设备和可穿戴技术开发微机电系统(MEMS)扬声器的全球性公司USound宣布进军健康科技行业,将推出完全适用于磁共振成像兼容耳机和配件的MEMS扬...
成熟的供应链以及设计和制造基础设施,结合成功的商业化背景和更广阔的市场需求,为MEMS领域的初创公司提供了一个充满活力的发展环境。
微机电系统,英文名称是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的缩写),其是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械...
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