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标签 > 微机电系统
微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级,是一个独立的智能系统。
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基于微机电系统MEMS技术的Bourns BPS140系列压力传感器介绍
BPS140系列极其坚固,其结构即使在高温下也能够处理高压范围(15至500 PSI)。Bourns最新压力传感器的另一个优点是结构与背面压力测量相结合...
源自微电子,MEMS制造的优势在于批处理。就像其它任何产品,MEMS器件规模量产加大了它的经济效益。如同集成电路制造,MEMS制造中光刻方法往往最具成本...
2019-08-29 标签:微机电系统 9888 0
金离子注入石英片制备了一种微流控泵,实现激光实时操控宏观流体运动
基础院博士后岳帅、博士生林峰和河南工程学院张秋慧副教授为共同第一作者,电子科技大学基础与前沿研究院为第一作者及第一通讯单位。电子科技大学王志明教授和美国...
Bourns新推出的环境传感器采用最先进的技术,即便在多数传感器可能产生故障的条件下仍能顺利运行。BPS110和BPS120压力传感器可为敏感应用提供极...
可能大部分对MEMS还是比较陌生,但其实MEMS在生活中早已无处不在了,智能手机、手环、汽车、无人机、VR/AR头戴式设备等,都应用了MEMS器件。
什么是MEMS传感器?mems传感器的组成和应用分类有哪些?
传感器发展到今天,小型化、智能化、集成化,已经是升级换代的必由之路。今天,我们来为大家介绍一下传感器家族的mini型产品 MEMS传感器。 什么是MEM...
MEMS全称Micro Electromechanical System,微机电系统。是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置,其内部结构一般在微米甚至纳米...
美国国家标准与技术研究所(NIST)日前展示一款采用微机电系统(MEMS)的延迟线内存控制器,可望作为未来量子电脑的暂存内存控制器。
本文分析了微/纳机电系统的发展特点,讨论了MEMS和NEMS发展中的几个问题和MEMS和NEMS的发展前景。
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