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微机电系统

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微机电系统（MEMS， Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。

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微机电系统资讯

一种基于微悬臂梁的电流天平的光子力测量MEMS装置

首次提出了一种基于微悬臂梁的电流天平的光子力（PF）测量MEMS（pfMEMS）装置。

2023-02-01 标签：mems 电磁波微机电系统 1498 0

汽车中的MEMS传感器应用

MEMS器件具有重量轻、体积小、成本低、功耗小等优点，非常有利于MEMS器件在电信和消费电子等行业中的应用。近年来，MEMS技术在汽车行业尤其是包括安全...

2022-09-07 标签：智能手机 MEMS传感器微机电系统 1857 0

地震预警项目加强对自然灾害的响应

科学家们一直在努力寻找解决自然灾害的方法。虽然消除似乎遥不可及，但重点一直放在减少生命和安全上。此类自然灾害包括地震、洪水、飓风、龙卷风、火山爆发、海啸...

2022-07-28 标签：微控制器加速度计微机电系统 570 0

利用超临界二氧化碳对MEMS进行刻蚀、冲洗和干燥研究

引言利用现有的超临界二氧化碳进行蚀刻和干燥的工艺由两阶段工艺组成：在高压干燥器外部利用溶剂对晶片进行蚀刻,然后移动到高压干燥器,利用超临界二氧化碳进行...

2022-06-02 标签：微机电系统二氧化碳 1933 0

一文详细了解射频微机电系统开关

射频微机电系统 (RF MEMS) 开关是低功耗小型微机械开关，可以使用传统的MEMS制造技术生产。它们类似于房间中的电灯开关，通过触点打开或关闭在开关...

2022-05-18 标签：射频 RF 微机电系统 2517 0

USound推基于微机电系统(MEMS)的对患者安全的扬声器

为个人设备和可穿戴技术开发微机电系统(MEMS)扬声器的全球性公司USound宣布进军健康科技行业，将推出完全适用于磁共振成像兼容耳机和配件的MEMS扬...

2022-04-06 标签：mems 扬声器微机电系统 4555 0

用于蚀刻冲洗和干燥MEMS晶片的最佳工艺条件实验报告

本研究通过我们华林科纳对使用液体二氧化碳和超临界二氧化碳进行蚀刻和冲洗工艺的各种实验结果，选择合适的共溶剂，获得最佳的工艺条件，以提高工艺效率和生产率。...

2022-02-08 标签：显微镜微机电系统 MEMS传感 922 0

iPhone 4陀螺仪拆解扫描电镜多图失效分析

苹果在WWDC2010大会中首次提到iPhone4内置陀螺仪，但A4处理器，视网膜显示器，外接天线这些方面很大程度上掩盖了这一改进。振动陀螺仪包含大量技...

2021-12-13 标签：集成电路微机电系统 3319 0

MEMS(微机电系统检测及失效分析

MEMS（微机电系统）元件的失效机制从本质上讲和与之相对应的宏观（肉眼可见）元件，具有很大差别并且是独特的。本文讨论从各种MEMS元件中观测到的失效机制...

2021-12-13 标签：多晶硅 mems 微机电系统 1357 0

德国联邦外贸与投资署：面向未来微机电系统微型扬声器

微型扬声器尺寸仅为10-20平方毫米，非常适合未来可听设备的应用，例如同声传译、支付功能和其他基于语音的互联网服务。

2021-12-03 标签：扬声器微机电系统 671 0

赛微电子发布2021年第一季度业绩预告

赛微电子主营业务 MEMS（微机电系统）工艺开发与晶圆制造具备全球竞争优势，拥有业内顶级专家与工程师团队以及持续扩张的8英寸成熟产能，较好地把握了下游生...

2021-04-25 标签：mems 微机电系统赛微电子 2176 0

一级方程式赛车（F1）中的决胜因素是什么？

一级方程式赛车（F1）中的决胜因素是什么？是赛车手的技术，还是汽车技术？80年代，复杂的电子系统开始出现在一级方程式赛车中，这个长期争论的问题便上升到一...

2021-05-01 标签：传感器电子器件微机电系统 2992 0

Spectrum数字化仪有效提升了原子力显微镜的性能

德国汉斯多尔夫,2021年3月2日讯——原子力显微镜(AFM)是材料科学中最重要的工具之一,用于机械扫描表面形貌。AFM能够测算纳米探针和原子表面的相互...

2021-03-11 标签：纳米技术微机电系统 1659 0

MEMS发展迅速，Yole Development预计2023年市场规模超300亿美元

MEMS 产业链一般由芯片设计企业、晶圆制造厂商、封装测试厂商和终端应用企业构成，芯片设计企业专注于 MEMS 芯片及其产品结构的设计，完成设计后交由第...

2020-11-10 标签：传感器 mems 微机电系统 1.3万 0

Evonetix与ADI公司合作开发基于微机电系统(MEMS)的硅芯片

EVONETIX LTD（“Evonetix”）——从事可扩展、高保真度和快速基因合成桌面平台开发的合成生物公司，日前宣布与全球领先的高性能模拟技术公司...

2020-09-27 标签：adi 微机电系统硅芯片 2494 0

2020年“创客中国”智能传感器中小企业创新创业大赛在河南成功举办

本次大赛由工业和信息化部网络安全产业发展中心(工业和信息化部信息中心)、新乡市人民政府主办，红旗区人民政府、市工业和信息化局、新乡领军产业园管理服务有限...

2020-09-13 标签：传感器智能传感器微机电系统 2208 0

国内MEMS产业链现状是怎样的？这些MEMS企业实力几何？

MEMS被认为是21世纪最有前途的技术之一，如果半导体微制造被视为第一次微制造革命，MEMS则是第二次革命。通过结合硅基微电子技术和微机械加工技术，ME...

2020-08-25 标签：mems 微机电系统产业链 4954 0

碳纳米管和量子计算等新方法将推动电子工艺和构形的进步

MEMS与传感器产业联盟（MSIG）的首席战略官Steve Whalley认为MEMS工艺不同于IC工艺，会产生许多种MEMS设计结构，进而推动MEMS...

2020-08-06 标签：传感器微机电系统量子计算 416 0

美国Siargo微机电气体质量流量传感器 FS1015CL系列产品特点

FS1015CL系列微机电气体质量流量传感器是专门为各类医学用气体的测量和过程控制而设计的。产品采用微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类...

2020-08-03 标签：流量传感器微机电系统传感芯片 923 0

美国Siargo微机电气体质量流量传感器 FS1015CL系列产品特点

FS1015CL系列微机电气体质量流量传感器是为各类医学用气体的测量和过程控制而设计的。产品采用微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁...

2020-08-03 标签：流量传感器微机电系统传感芯片 1203 0

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