微电子机械系统是指利用半导体技术设计和制造微米领域的三维力学系统，形成高度自动化、智能化，可以大批生产，价格低廉的微电子机械系统，具有广阔的应用前景，开辟了制造集成到硅片上的微米传感器和微米电机的崭新可能性。