扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，由控制系统、进出舟系统、炉体加热系统和气体控制系统等组成，主要用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，能够实现日志记录，曲线记录，程序编辑，远程控制等多种功能。