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标签 > 离子束

离子束

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离子束技术

一文解析离子注入的沟道效应

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什么是沟道效应? 沟道效应是指在晶体材料中,注入的离子沿着晶体原子排列较为稀疏的方向穿透得比预期更深的现象。

2024-02-21 标签:晶体离子束 3432 0

半导体制造中FIB、SEM关键技术原理

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聚焦离子束(Focused Ion beam,FIB)是一种利用电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的显微切割仪器。 聚焦后作用于样品表面。

2024-01-02 标签:原理图半导体SEM 3226 0

一文详解离子束工艺技术

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 二次离子质谱(SIMS)是一种分析方法。具有高空间分辨率和高灵敏度的工具。它使用高度聚焦的离子束(通常是氧气或(无机样品用铯离子)“溅射”样品表面上选...

2022-11-22 标签:离子束 1123 0

铌酸锂 LiNbO3 薄膜 IBE 离子束刻蚀

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随着基于铌酸锂 LN 的光源, 光调制, 光探测等重要器件的实现, 铌酸锂 LN 光子集成芯片有望像硅基集成电路一样, 成为高速率, 高容量, 低能耗光...

2024-09-13 标签:离子束刻蚀机 324 0

FIB技术在各领域的应用及其运作机制解析

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双束聚焦离子束(FIB)系统概述双束聚焦离子束(FIB)系统是一种集成了单束聚焦离子束和扫描电子显微镜(SEM)功能的高精度微纳加工技术。这种系统通过精...

2024-10-29 标签:显微镜fib离子束 303 0

深入解析离子束(FIB)技术在微纳米加工领域的应用

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集成电路制造中的先进束流技术在集成电路的制造过程中,三种先进的束流技术——电子束、光子束和离子束技术,扮演着至关重要的角色。这些技术不仅推动了微电子器件...

2024-11-12 标签:集成电路fib离子束 292 0

氩离子束抛光:EBSD样品制备的高效策略

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EBSD技术的重要性电子背散射衍射(EBSD)技术是材料科学中用于揭示材料微观结构的关键工具。它详细描述了材料在凝固、塑性变形、相变以及断裂等物理过程中...

2024-11-08 标签:fib测试设备离子束 271 0

美国进口 KRi 考夫曼离子源 KDC 160 硅片刻蚀清洁案例

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上海伯东美国 KRi 大尺寸考夫曼离子源 KDC 160 适用于 2-4英寸的硅片刻蚀和清洁应用, KRi KDC 160 是直流栅网离子源, 高输出离...

2024-09-13 标签:电流硅片离子束 265 0

聚焦离子束(FIB)技术的特点、优势以及应用

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本文介绍了聚焦离子束(FIB)技术的特点、优势以及应用。 一、FIB 在芯片失效分析中的重要地位 芯片作为现代科技的核心组成部分,其可靠性至关重要。而在...

2024-11-21 标签:芯片fib离子束 230 0

制备透射电镜及扫描透射电镜样品的详细步骤

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聚焦FIB技术:微纳尺度加工的利器聚焦离子束(FIB)技术以其卓越的精确度在微观加工领域占据重要地位,能够实现从微米级到纳米级的精细加工。金鉴实验室在这...

2024-11-11 标签:fib离子束电镜 227 0

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离子束资讯

电子束加工原理与主要加工装置

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电子束加工(Electron Beam Machining 简称EBM)起源于德国。1948年德国科学家斯特格瓦发明了第一台电子束加工设备。它是一种利用...

2021-03-10 标签:电子束镀膜离子束 2.1万 0

离子束加工原理

离子束加工原理

离子束加工原理和离子束加工的应用范围,离子束加工的特点。

2011-05-22 标签:加工原理离子束 1.8万 0

聚焦离子束显微镜(FIB-SEM)材料分析

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一、FIB设备型号:Zeiss Auriga Compact 聚焦离子束显微镜 (FIB-SEM) 聚焦离子束(FIB)与扫描电子显微镜(SEM)耦合成...

2021-11-06 标签:SEMfib离子束 3201 0

离子注入机的简易原理图

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本文介绍了离子注入机的相关原理。 离子注入机的原理是什么?

2024-04-18 标签:离子束 2042 0

利用不同的安表/电压源测量离子束

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离子源用以获得离子束的装置。在各类离子源中,用得最多的是等离子体离子源,即用电场将离子从一团等离子体中引出来。这类离子源的主要参数由等离子体的密度、温度...

2011-12-16 标签:电压源离子束 1210 0

吉时利皮安表在离子束测量的应用

离子束用于各种应用场合,诸如,质谱仪和离子注入机等。离子 束电流通常非常小(mA), 所以需要使用静电计或皮安表来进行测量。今天安泰测试为大家介绍如何使...

2021-09-10 标签:电压测量离子束 747 0

离子束抛光在微电子封装失效分析领域的应用

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共读好书 王刚 冯丽婷 李潮 黎恩良 郑林挺 胡宏伟刘家儒 夏姗姗 武慧薇 (工业和信息化部电子第五研究所) 摘要: 首先,以具体微电子封装失效机理和失...

2024-07-04 标签:失效分析离子束微电子封装 363 0

离子束刻蚀机物理量传感器 MEMS 刻蚀应用

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口离子束刻蚀机 IBE 可以很好的解决传感器 MEMS 的刻蚀难题, 射频角度可以任意调整, 蚀刻可以根据需要做垂直, 斜面等等加工形状, 刻蚀那些很...

2024-09-12 标签:传感器mems离子束 360 0

上海伯东IBE离子束刻蚀机优势

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上海伯东 IBE 离子束刻蚀机可用于反应离子刻蚀 RIE 不能很好刻蚀的材料。是一种干法物理纳米级别的刻蚀, 刻蚀均匀性 ≤±5%(部分材料 ±3%)。...

2024-11-27 标签:离子束刻蚀机 103 0

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