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美国进口 KRi 考夫曼离子源 KDC 160 硅片刻蚀清洁案例
上海伯东美国 KRi 大尺寸考夫曼离子源 KDC 160 适用于 2-4英寸的硅片刻蚀和清洁应用, KRi KDC 160 是直流栅网离子源, 高输出离...
二次离子质谱(SIMS)是一种分析方法。具有高空间分辨率和高灵敏度的工具。它使用高度聚焦的离子束(通常是氧气或(无机样品用铯离子)“溅射”样品表面上选...
2022-11-22 标签:离子束 1140 0
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