等离子体

无标记等离子体纳米成像新技术

  一种使用等离子体激元的新型成像技术能够以增强的灵敏度观察纳米颗粒。休斯顿大学纳米生物光子学实验室的石伟川教授和他的同事正在研究纳米材料和设备在生物医...

2023-11-27 标签：等离子体成像 375 0

盛合晶微J2B厂房首批生产设备搬入，均来自国产设备厂商

据盛合晶微sjsemi消息，这是盛合晶微江阴制造基地二期工厂扩建项目如期完成，使用进入了意味着，公司的三维集中包装项目稳步推进，意味着进入了一个新的发展...

2023-07-21 标签：芯片等离子体生产设备 1717 0

等离子体彩虹芯片级智能光谱仪可实现光谱+偏振的双功能传感

近年来，研究人员和业内主要厂商已将研发重心转向微型化、便携式且低成本的光谱仪系统，使之可以在日常生活中实现现场、实时和原位光谱分析的许多新兴应用。

2023-04-12 标签：等离子体光谱仪显微镜 1097 0

一种在微波液体放电等离子体（MDPL）还原氧化石墨烯(GO)的新策略

本文提出了一种在微波液体放电等离子体（MDPL）还原氧化石墨烯(GO)的新策略。该方法还原速度快，反应活性高，温度低，适合高效制备石墨烯。

2022-11-24 标签：等离子体石墨烯 2249 0

半导体行业中的陶瓷材料

一般可采用高纯Al2O3涂层作为刻蚀腔体和腔体内部件的防护材料。但是随着半导体器件最小特征尺寸的减小和晶圆尺寸的增大，为了获得更高的刻蚀精度和保证刻蚀的...

2022-11-17 标签：等离子体碳化硅 1784 0

干法刻蚀和清洗（Dry Etch and Cleaning）

干法刻蚀工艺流程为，将刻蚀气体注入真空反应室，待压力稳定后，利用射频辉光放电产生等离子体；受高速电子撞击后分解产生自由基，并扩散到圆片表面被吸附。

2022-11-10 标签：等离子体刻蚀 6531 0

世界上第一个基于高电荷态离子的光学原子钟

PTB物理学家卢卡斯·斯皮伯解释说，一个带有高电荷态离子的光学原子钟有助于更好地检验这些基本理论。“我们能够在一个五电子系统中探测到量子电动核反冲，这是...

2022-11-09 标签：等离子体电荷 614 0

等离子体掺杂（Plasma Doping）

通常，用射频电源产生高浓度等离子体电离掺杂气体，而用偏置电源加速离子去“轰击”圆片表面。最常用的 PLAD 掺杂气体为 B2H6，用于硼掺杂。对于需要非...

2022-11-01 标签：射频等离子体晶圆 5459 0

利用表面等离激元干涉实现纳米尺度的能谷调制

随着半导体先进制程逼近摩尔定律的极限，光电器件的尺寸到达纳米量级，传统的理论在逐步失效，而小尺寸器件中的新机理逐渐成为器件性能提升的机遇。能谷是半导体材...

2022-09-05 标签：半导体等离子体纳米 951 0

有谁知道夸克-胶子等离子体是什么吗？

质子和中子都是由三个夸克构成，负责传递强力的胶子会将夸克牢牢地黏在一起。

2021-06-23 标签：等离子体原子 2882 0

“碳”秘博世等离子涂层技术

看似“神秘”的等离子体，其实是宇宙中一种常见的物质，在太阳、恒星、闪电中都存在等离子体，它占了整个宇宙的99％。现在人们已经掌握利用电场和磁场来产生和控...

2021-06-18 标签：等离子体电压TAC 5177 0

莱斯大学科学家首次成功磁约束超冷等离子体

据《物理评论快报》近日报道，美国莱斯大学物理学家发现了一种将世界上最冷的等离子体捕获在磁瓶中的方法。这项技术成就有助于推动对清洁能源、太空天气和天体物理...

2021-03-19 标签：等离子体清洁能源 1656 0

一种新猜想为黑洞能量的提取提供了一种全新思路

为了“偷”到黑洞的能量，科学家们尽情发挥着奇思妙想。最近，哥伦比亚大学天体物理学家卢卡•科米索（Luca Comisso）与智利阿道夫伊巴涅斯大学物理学...

2021-03-01 标签：等离子体黑洞能量 1859 0