薄膜电阻的制造工艺和厚膜电阻还是有比较大的区别，厚膜电阻制造一般是采用丝网印刷工艺，而薄膜电阻制造一般是采用真空蒸发、磁控溅射等工艺，薄膜的形成实质上是气－固转化、晶体生成的过程。薄膜电阻器是用类蒸发的方法将一定电阻率材料蒸镀于绝缘材料表面制成的以种电阻。