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蚀刻机

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蚀刻机可以分为化学蚀刻机及电解蚀刻机两类。在化学蚀刻中是使用化学溶液，经由化学反应以达到蚀刻的目的，化学蚀刻机是将材料用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。

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蚀刻机简介

　　基本原理是在真空低气压下，ICP 射频电源产生的射频输出到环形耦合线圈，以一定比例的混合刻蚀气体经耦合辉光放电，产生高密度的等离子体，在下电极的RF 射频作用下，这些等离子体对基片表面进行轰击，基片图形区域的半导体材料的化学键被打断，与刻蚀气体生成挥发性物质，以气体形式脱离基片，从真空管路被抽走。

　　蚀刻机主要应用于航空、机械、标牌工业中，蚀刻机技术广泛地被使用于减轻重量（Weight Reduction）仪器镶板，铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等之加工。

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蚀刻机知识

半导体光刻工艺流程分析

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蚀刻机技术

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如果单板或拼板的尺寸不合适，PCB生产过程中，就会产生很多的原料废边，PCB板厂会把之些废边的价格都加到你的板子上，这样你的PCB板单位价格就贵一些。

2023-12-25 标签：pcb 线路板蚀刻 1771 0

硅晶片的酸基蚀刻：传质和动力学效应

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半导体光刻工艺流程分析

等离子体蚀刻机需要与湿法蚀刻相同的元素：化学蚀刻剂和能量源。从物理上讲，等离子体蚀刻机由室、真空系统、气体供应、终点检测器和电源组成（如下图所示）。晶圆...

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蚀刻机帖子

蚀刻机资料下载

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类别：电子资料 2022-11-28 标签：磁盘蚀刻机

蚀刻机资讯

中国光刻机实现90nm制程芯片生产

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制作芯片需要什么设备

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国产3nm芯片蚀刻机取得突破

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中微半导体是中国唯一的蚀刻机巨头

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行业 | 中国半导体设备现状,蚀刻机一枝独秀

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2019-07-09 标签：半导体晶圆 PCB设计 5033 0

国产刻蚀机巨头崛起,中微公司打破美国垄断

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2021-01-30 标签：芯片集成电路半导体 2840 0

蚀刻机数据手册

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