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微型惯性测量单元 是一种重要的MEMS,它是由微型陀螺仪、微型加速度计,专用集成电路(ASIC)、嵌入式微机及相应的导航软件组成,可以提供运动载体的位置、速度和姿态信息。
微型惯性测量单元(Miniature Inertial Measurement Unit,MIMU)[1] 是一种重要的MEMS,它是由微型陀螺仪、微型加速度计,专用集成电路(ASIC)、嵌入式微机及相应的导航软件组成,可以提供运动载体的位置、速度和姿态信息。
众所周知,惯性导航系统以其独特的优点,在航空、航天和航海等领域得到了广泛的应用,惯性技术的发展水平直接影响一个国家武器装备现代化的程度。在现代以及可预见未来的高科技战场上,强技术对抗的复杂战场环境迫切需要微型飞行器、微型机器人等微小型侦察设备以及大量战术武器,这种需求促使惯性导航系统向低成本、微型化、低功耗的方向发展。
微型惯性测量单元(Miniature Inertial Measurement Unit,MIMU)[1] 是一种重要的MEMS,它是由微型陀螺仪、微型加速度计,专用集成电路(ASIC)、嵌入式微机及相应的导航软件组成,可以提供运动载体的位置、速度和姿态信息。
众所周知,惯性导航系统以其独特的优点,在航空、航天和航海等领域得到了广泛的应用,惯性技术的发展水平直接影响一个国家武器装备现代化的程度。在现代以及可预见未来的高科技战场上,强技术对抗的复杂战场环境迫切需要微型飞行器、微型机器人等微小型侦察设备以及大量战术武器,这种需求促使惯性导航系统向低成本、微型化、低功耗的方向发展。
微惯性器件的主要特点有:
(1)低成本。由于微惯性器件主要采用半导体或者石英材料,因此可以象制造芯片一样大批量生产,从而具有很低的成本。目前仅松下((Panasonic)公司每年就生产超过200万套采用微惯性器件的汽车导航系统,而British Aerospace/Sumitamo每年生产超过700万只微陀螺。(2)体积小、功耗低。由于在MIMU中己经可以采用平面(In-plane)安装的三轴惯性器件,美国用于CMATD( Competent Munitions Advanced TechnologyDemonstration)项目的由MIMU/GPS组成的整个导航制导控制系统(GuidanceNavigation & Control, GNC)的体积仅为8in3(立方英寸),功耗仅为3W。目前,Draper实验室的用于PGM(Precision Guided Munitions)项目的整个GN&C系统体积降至4in3,并正在向2in3迈进。(3)全固态,可靠性高,抗冲击性好。目前国外的微惯性器件抗过载能力已经达到20000g,并在火炮发射的制导炮弹中得到成功应用。(4)精度低。目前微陀螺的漂移远大于其它类型的常规陀螺。微惯导系统在无外界辅助信息的情况下导航的输出很快发散,因此在构成系统时,常需要其它辅助信息,来抑制系统定位误差的增长。由于MIMU和GPS接收机可以做到很高的集成,因此在战术武器上经常与GPS一起构成GPS/MIMU组合导航系统。由于微惯性器件具有上述特点,因此国际上有很多机构和公司研究微惯性器件,其中主要的包括Draper实验室、Honeywell, JPL实验室、Crossbow,英国的BAE System、日本的Sumitono, Panasonic,德国的LITEF, Bosch以及各国的很多大学等。美国在这一领域处于领先地位,最具代表性的是Draper实验室,Draper实验室于1984年开始微惯性传感器的研究。1995年在ERGM(Extend-Range GuidedMunition)中使用的MIMU/GPS单元体积为126in3,陀螺漂移率500(°)/h,加速度计精度20mg,功率24w,承受过载达到6500g,是第一个成功用于火炮发射制导弹药的MIMU/GPS系统。1997年在CMATD(Competent Munitions AdvancedTechnology Demonstration)试验中使用的单元体积缩小为9 in3,陀螺漂移率50(°)/h,加速度计精度达到lmg,功率10w,过载达到 12500g。目前Draper实验室的产品体积进一步减小到4砰,陀螺漂移率10(°)/h,加速度计精度100ug,过载达到20000g,功率小于3w。在美国DARPA (the Defence Advanced Research ProjectsAgency)和AFRL ( the Air Force Research Laboratory)的资助下,Draper实验室正在研究世界上性能最好的MIMU,目标是陀螺漂移率达到1(°)/h,加速度计精度100ug,能承受20000g的过载,功率小于Sw,生产成本为1200美元。
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