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标签 > NEMS
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进行MEMS制造的最基本需求是能够沉积1到100微米之间的材料薄膜。NEMS的制造过程是基本一致的,膜沉积的测量范围从几纳米到一微米。
MEMS传感器在汽车应用增长快速,NEMS、3.5D封装技术成趋势
电子发烧友网报道(文/刘静)MEMS传感器主要是利用半导体制造工艺和材料,加工微型机械结构形成的传感器和执行器,然后匹配控制电路和信号处理电路,来测量和...
受昆虫生物学的启发,哈佛大学的一个团队正在突破其项目的极限,打造出有史以来最小、速度最快的微型机器人:
记者近日从中国科技大学获悉,中国科学院院士郭光灿领导的中科院量子信息重点实验室在基于碳纳米管的纳米机电系统(NEMS)方面取得系列重要进展。该实验室固态...
NEMS或将引发半导体组件微型化的下一个战争 据新兴芯片技术领域的专家表示,纳米机电系统(nanoelectromechanical systems,...
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