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ATE是Automatic Test Equipment的缩写,于半导体产业意指集成电路(IC)自动测试机,用于检测集成电路功能之完整性, 为集成电路生产制造之最后流程, 以确保集成电路生产制造之品质。
ATE是Automatic Test Equipment的缩写,于半导体产业意指集成电路(IC)自动测试机,用于检测集成电路功能之完整性, 为集成电路生产制造之最后流程, 以确保集成电路生产制造之品质。
在元器件的工艺流程中,根据工艺的需要,存在着各种需要测试的环节。目的是为了筛选残次品,防止进入下一道的工序,减少下一道工序中的冗余的制造费用。这些环节需要通过各种物理参数来把握,这些参数可以是现实物理世界中的光,电,波,力学等各种参量,但是,目前大多数常见的是电子信号的居多。ATE设计工程师们要考虑的最多的,还是电子部分的参数比如,时间,相位,电压电流,等等基本的物理参数。就是电子学所说的,信号处理。
DFT全称为Design for Test,可测性设计。就是说我们设计好一个芯片后,在仿真时可能99%的用例都通过了,怎么保证流片出来的实际芯片也能正常工作呢?
半导体测试设备主要包括三类:ATE、探针台、分选机。其中测试功能由测试机实现,而探针台和分选机实现的则是机械功能,将被测晶圆/芯片拣选至测试机进行检测。
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