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铝刻蚀可以使用多种不同的酸,其中最普遍的混合液是以磷酸(H3P04,80%)、醋酸(CH3COOH,5%)、硝酸(HN03,5%)和水(H20,10%)...
开发高稳定性储能系统是解决未来能源问题的重要方法。传统锂离子电池由于其使用易燃有机液体电解质,安全问题严峻,而使用固态电解质(SSEs)代替液态有机电解...
首先,沉积四乙基原硅酸盐氧化物(即使用正硅酸乙酯TEOS前驱的CVD氧化物,简称TEOS-ox)和氮化硅的复合层,并对TEOS-ox和氮化硅进行等离子体...
低频功率时,离子所获得的能量比在高频功率获得的能量稍高。低频使离子有较多的反应时间,所以能把离子加速到具有较高的能量,也因此能够提供更多的能量在离子轰击上。
其中,AB是分子,而A和B是由分解碰撞产生的自由基,自由基至少带有一个不成对的电子, 因此并不稳定。自由基在化学上非常活跃,能夺取其他原子或分子的电子形...
当两个电极通过射频高电压时,它们之间就产生一个交流电场。如果射频功率足够高,自由电子受到交流电场的影响被加速,直到获得足够的能量和反应室中的原子或分子碰...
为了降低接触电阻和串联电阻,在集成电路制造中引入了硅化物工艺,业界先后采用了可规模生产的 WSi2 、TiSi2、CoSi2、NiSi 等工艺。
进行MEMS制造的最基本需求是能够沉积1到100微米之间的材料薄膜。NEMS的制造过程是基本一致的,膜沉积的测量范围从几纳米到一微米。
从本质上分析硅氧负极循环寿命更好的原理是:硅氧负极技术路线多用氧化亚硅,相较于单质硅颗粒,氧化亚硅(SiOx)在锂嵌入过程中发生的体积膨胀较小,其循环稳...
2022-09-29 标签:CVD 1.3万 0
化学气相沉积 (CVD) 能够生产出兼具高质量、高纯度及高强度等优点的材料,因此在半导体行业非常受欢迎。超高真空化学气相沉积涉及相当复杂的设备和极高的温...
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