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duv就是深紫外光,主要是指波长小于i-line365nm的紫外光,一般工业上有193arf和248nmkrf的的激光。用的都是化学增幅型的光刻胶。
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目前,光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线,EUV是非常深的紫外线。DUV使用的是极紫外光刻技术,EUV使用的是深紫外光刻技术。E...
DUV已经能满足绝大多数需求:覆盖7nm及以上制程需求。DUV和EUV最大的区别在光源方案。duv的光源为准分子激光,光源的波长能达到193纳米。
近日,《乌合麒麟撤回道歉,称3D堆叠就是芯片优化技术》事件在网上引起争论,今天ASPENCORE记者欧阳洋葱同学进一步对“ 14nm + 14nm 达成...
光刻机誉为“现代半导体行业皇冠上的明珠”,是一种高度复杂的设备。光刻机是通过紫外光作为“画笔”,把预先设计好的芯片电路路线书写在硅晶圆旋涂的光刻胶上,光...
ASML警告美国:对中国断供DUV光刻机半导体供应链将中断,真是如此吗?
电子发烧友网报道(文/吴子鹏)近日,针对全球半导体产业广泛关注的美国施压ASML断供中国DUV光刻机一事,ASML首席执行官(CEO)温彼得正式回应称,...
荷兰出新规!ASML部分DUV***将禁运,国产半导体设备发展别无选择
电子发烧友网报道(文/吴子鹏)日前,有外媒报道称,荷兰贸易部部长最近在致荷兰议会的一封信中宣布,基于国家安全考虑,荷兰政府将在夏天之前对其芯片出口实施新...
最近,因为美日荷的出口管制,有关光刻机的很多讨论又在中文媒体圈发酵。在这里,我们从semianalysis等媒体的报道,向大家展示一下备受关注的DUV光...
美国竟要求ASML停止对中国出口DUV光刻机,荷兰政府果断拒绝
日前晚间,据彭博社爆料称,美国正在对荷兰政府施压,要求其光刻机企业ASML禁止向中国大陆出售包括DUV光刻机在内的重要技术型产品。 在此之前,光刻机巨头...
3月3日下午,中芯国际披露,公司于2月1日与阿斯麦(ASML)上海签订了经修订和重述的阿斯麦批量采购协议,将采购协议的期限延长一年至2021年12月31...
解读ASML澄清中芯国际购买协议事件和EUV与DUV的差异性
近日,中芯国际与ASML达成12亿美元交易购买晶圆生产设备的消息引发关注。针对双方此次合作,有媒体报道称“除了 EUV 光刻机,中芯国际几乎可以买到其他...
ASML光刻机扩产计划公布:EUV 90台/年 DUV 600台/年
荷兰ASML公司昨天一家总部设在荷兰埃因霍温(Eindhoven)的全球最大的半导体设备制造商之一,向全球复杂集成电路生产企业提供领先的综合性关键设备光...
荷兰宣布将在6月底或7月初实施出口管制,限制多款DUV高端型号设备的出货,其中包括ASML光刻机。
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