FBAR滤波器可以简称薄膜腔声谐振滤波器，是使用硅底板、借助mems技术以及薄膜技术而制造出来的，是下一代无线通信和无线接入产品中的应用，现阶段的fbar滤波器已经具备了略高于普通saw滤波器的特性。