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MEMS传感器即微机电系统(Microelectro Mechanical Systems),是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展,已成为世界瞩目的重大科技领域之一。
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基于Mems的应用不断扩大,主要原因是Mems传感器的成本下降,这也得益于8英寸硅片生产的转变。
最流行的汽车MEMS压力传感器采用压阻式力敏原理,这是现有几种力敏传感器中用量最大的一种,开发出几代产品,年产量为数千万只。这种传感器用单晶硅作材料,...
MEMS技术基于已经是相当成熟的微电子技术、集成电路技术及其加工工艺。它与传统的IC工艺有许多相似之处,如光刻、薄膜沉积、掺杂、刻蚀、化学机械抛光工艺等...
Teledyne e2v高速SiP直接RF数据转换接收(Rx)方案
随着ADC和DAC的性能规格、形状参数和新的传感器技术(Rx和Tx)的不断发展,RF数据转换系统正在发生快速变化。在这期间,一个系统级的设计问题一直存在...
因为技术和经济的原因,MEMS传感器曾经被局限在汽车市场和工业应用领域;今天,随着MEMS传感器越来越小,价格越来越低,能效越来越高,设计和应用空间不断...
根据上述4颗MEMS芯片(3种类型:X/Y轴陀螺仪、Z轴陀螺仪和三轴加速度计)的结构剖析及材料分析,绘制出MEMS芯片结构示意图,并以X/Y轴陀螺仪为例...
随着“物联网”、“智慧城市”、“智能交通”等概念的兴起,及全球信息数据采集需求的旺盛,MEMS传感器的应用变得无所不在。##当我们在讨论车身稳定控制系统...
现在汽车的预防安全越来越受到人们重视,MEMS传感器应用于汽车安全技术许多领域,以下是对汽车领域中MEMS传感器的十大应用知识盘点。
MEMS的全称是微型电子机械系统(Micro-ElectroMechanicalSystem),微机电系统是指可批量制作的,将微型机构、微型传感器、微型...
2020-01-28 标签:MEMS传感器 2046 0
MEMS传感器的分类和应用以及中国MEMS传感器的发展态势分析
MEMS的全称是微型电子机械系统(Micro-ElectroMechanicalSystem),微机电系统是指可批量制作的,将微型机构、微型传感器、微型...
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