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标签 > MEMS器件
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据麦姆斯咨询报道,NanoGraM项目重点研究三类器件:石墨烯麦克风、石墨烯膜压力传感器和石墨烯膜霍尔传感器。
本视频为 ADI亚太区应用和客户支持经理 Camille Huin 带来的《用于医疗保健领域的ADI公司身体传感器和MEMS器件》。
硅微加速度传感器是MEMS器件中的一个重要分支,具有十分广阔的应用前景。由于硅微加速度传感器具有响应快、灵敏度高、精度高、易于小型化等优点,而且 该种传...
2014-07-07 标签:MEMS器件 2117 0
利用EHD喷印技术在MEMS器件上实现性能优异的无掩膜沉积WO3胶体量子点
随着新一代物联网技术的发展,气体传感器逐渐向小型化、低功耗以及芯片化发展。而传统采用金属氧化物构建的半导体气体传感器存在制备和工作温度高,与硅基工艺不兼...
MEMS器件以硅为主要材料。硅的强度、硬度和杨氏模量与铁相当。密度类似于铝,热传导率接近铜和钨,因此MEMS器件机械电气性能优良。它集中了当今科学技术发...
2019-02-12 标签:mems器件 1.3万 0
1969年,美国的Wallis和Pomerantz两位研究人员首次提出了阳极键合技术,其键合方法如图1所示。阳极键合目前在硅片与玻璃键合中得到了较为广泛...
该压电MEMS实验室将有利于壮大苏州MEMS产业实力,也有利于加快中国MEMS企业创新步伐。
公司拥有国际先进水平的6英寸MEMS工艺线和世界领先的产品测试标定设备,是国家高新技术企业、科技部重大科学仪器专项资助单位。
IMT日前正式宣布:公司现已可提供8英寸(200mm)晶圆微电子机械系统(MEMS)工艺加工服务,同时公司还可以为MEMS行业发展提供空前丰富的其他资源...
设计和开发MEMS器件涉及大量的数学仿真。在制造过程中进行实验验证,不仅成本昂贵且非常耗时。为了精准地预测系统响应,需要验证仿真模型。但是,当需要用模型...
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