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标签 > MEMS工艺
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TFT-LCD是将微电子技术与液晶显示器技术巧妙结合的一种技术
IMOD的像素制作,大部分基于普通TFT实验室的整体工艺步骤,包括等离子增强化学气相沉积(PECVD)和磁控溅射沉积,光刻图案化,干法和湿法刻蚀,但是仍...
MEMS制程各工艺相关设备的极限能力又是限定器件尺寸的关键要素,且其相互之间的配套方能实现设备成本的最低;下面先简要介绍一下前段制程的特点及涉及的设备。
村田发布了一款新的6轴MEMS惯性传感器SCH16T-K01
据麦姆斯咨询报道,综合电子元器件全球制造商村田(Murata)近日发布了一款新的6轴MEMS惯性传感器SCH16T-K01,可实现高精度机器控制和定位应用。
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