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微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。
微机电系统是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。
微机电系统是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。MEMS是一项革命性的新技术,广泛应用于高新技术产业,是一项关系到国家的科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术。
MEMS侧重于超精密机械加工,涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。它的学科面涵盖微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理、化学、机械学的各分支。
常见的产品包括MEMS加速度计、MEMS麦克风、微马达、微泵、微振子、MEMS光学传感器、MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS湿度传感器、MEMS气体传感器等等以及它们的集成产品。
MEMS全称Micro Electromechanical System,微机电系统。是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置,其内部结构一般在微米甚至纳米...
麦克风,学名为传声器,是将声音信号转换为电信号的能量转换器件,由"Microphone"这个英文单词音译而来。也称话筒、微音器。二十世纪,麦克风由最初通...
MEMS微镜在DLP的应用是一个成功的例子。DLP显示的核心技术则是采用静电原理的MEMS微镜组成的阵列,每一面微镜构成一个单色像素,由微镜下层的寄存器...
微流控(microfluidics)是一种精确控制和操控微尺度流体, 以在微纳米尺度空间中对流体进行操控为主要特征的科学技术,具有将生物、化学等实验室的...
我们发现身披时尚、智能、健康等标签的智能手环、腕带们其实并没有想象中的“高大上”,抛开外形、大同小异的APP,在核心硬件原理上,它们非常相似。一个公式就...
压力传感器是最为常用的一种传感器,其广泛应用于各种工业自控环境,涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床...
随着柔性和可穿戴电子设备的快速发展,以及无线传感器节点和可植入设备的进步,市场对能够提供毫瓦/微瓦级能量输出的能量收集器件提出了很大的需求。近年,各种能...
随着消费电子的飞速发展,麦克风行业也跟着蓬勃起来。注意,这里说的麦克风不是我们通常说的话筒,而是传声器,一种电声器件,负责将声音转换成电信号。麦克风被广...
Microelectromechanical Systems, 这个让老美念起来都绕口的词,中文叫做“微机械机电系统”。MEMS的飞速发展,是因为传统机...
传感器作为现代科技的前沿技术,被认为是现代信息技术的三大支柱之一,也是国内外公认的最具有发展前途的高技术产业
随着硅微机械加工技术(MEMS)的迅猛发展,各种基于MEMS技术的器件也应运而生,目前已经得到广泛应用的就有压力传感器、加速度传感器、光开关等等,它们有...
感知层主要由传感器、微处理器和无线通信收发器等组成。传感器处于整个物联网的最底层,是数据采集的入口,物联网的“心脏”,迎来了巨大的发展空间。
Butterfly公司正式推出下一代产品——新型手持式超声波成像系统Butterfly iQ+
Butterfly公司的使命是通过让全世界所有人都可以使用医学成像来实现医疗保健的民主化。从美国医疗服务不足的社区到全球偏远地区,有47亿人无法使用医学...
传感器在物联网发展中正扮演者越来越重要的角色,目前传感器产品需求大幅增加,并且重心逐渐转向技术含量较高的MEMS传感器领域,MEMS传感器的精确度决定了...
型号 | 描述 | 数据手册 | 参考价格 |
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MSM321A3729H9BP | 模拟输出MEMS麦克风 MIC_3.76X2.95MM_SM |
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MSM261DHP006 | MEMS硅麦 1.6~3.6V ±1dB |
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