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微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
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电容式MEMS压力传感器有哪些优点?纯国产电容式MEMS压力传感器芯片有哪些?
在科技飞速发展的今天,传感器作为获取信息的关键部件,其性能的优劣直接影响到众多系统的运行效果。电容式MEMS压力传感器凭借其独特的优势,在压力测量领域崭...
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