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在现代汽车技术中,提升驾驶安全性和操作稳定性一直是发展的重点。横摆率传感器作为现代车辆电子稳定程序关键的组成部分,扮演着至关重要的角色。本文将探讨两种主...
Pre-CMOS/MEMS 是指部分或全部的 MEMS 结构在制作 CMOS 之前完成,带有MEMS 微结构部分的硅片可以作为 CMOS 工艺的初始材料。
随着生物医疗、纳米技术和微电子技术的不断演进,人们对植入式生物医疗设备(IBD)的需求正在迅速增长。
随着世界各国现代化步伐的加快,对检测技术的要求越来越高。而科学技术,尤其是大规模集成电路技术、微型计算机技术、机电一体化技术、微机械和新材料技术的不断进...
微机械陀螺即MEMS陀螺,也称为硅微陀螺,它的制作是通过采用半导体生产中成熟的沉积、蚀刻和掺杂等工艺,将机械装置和电子线路集成在微小的硅芯片上完成的,最...
建立了国家“111”引智基地。与美国加州理工学院、加州大学伯克利分校、德国慕尼黑工业大学、弗莱堡大学、法国巴黎高师等多所国际著名大学建立了良好合作关系,...
皮秒激光器的原理及微机械加工应用 超短激光脉冲的激光切除的优点在很多应用中得到了证实,直到最近也没有在工厂的地板上发现这些应用
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