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标签 > 微机电系统
微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级,是一个独立的智能系统。
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加速度传感器常用的有两种,一种是基于压电效应的压电式加速度传感器,另一种是基于微机电系统(MEMS)技术的微型加速度传感器。 压电式加速度传感器是利用压...
MEMS集微传感器、微执行器和微能源等形成独立智能系统,融合微电子技术和微机械技术,演化而成新兴产业。MEMS制造技术广泛应用于航空航天、汽车、生物医疗...
东南大学利用Moku:Pro跟踪MEMS应用谐振频率并稳定输出信号幅值
简介与挑战微机电系统(MEMS)利用硅的电学和机械特性,将机械结构和电子结构集成在一起,用于检测加速度、旋转、角速度等。MEMS设备的核心组件包括一个垂...
ATA-3040C功率放大器在MEMS传感器超声波喷涂中的具体应用
MEMS传感器即微机电系统(MicroelectroMechanicalSystems),是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感...
来源:光明网,谢谢 编辑:感知芯视界 Link 5月8日,微纳传感与智能微系统重庆市重点实验室在北京理工大学重庆微电子研究院(下称北理工重研院)揭牌成立...
微机电系统采用的是梳状驱动式致动器。要理解其工作原理,可以设想两个梳齿间隔很大的梳子,它们面对面摆放,梳齿交错。
自全球变暖加剧以来,由于对自然和人类的影响,导致全球变暖的气体一直受到监测。臭氧(O₃)是造成全球变暖的气体之一,它是一种淡蓝色的气体,具有独特的刺激性...
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