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晶粒是组成多晶体的外形不规则的小晶体，在物质结晶过程中，通过晶核（结晶中心）生成和晶体成长而发展起来的小晶体。

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一种晶粒、晶圆及晶圆上晶粒位置的标识方法

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　　晶粒是组成多晶体的外形不规则的小晶体，在物质结晶过程中，通过晶核（结晶中心）生成和晶体成长而发展起来的小晶体。

　　每个晶粒的组成也有若干个位向稍有差异的亚晶粒。晶粒直径通常在0.015~0.25mm，而亚晶粒的直径通常为0.001mm。

　　晶体尺寸通常可以X光衍射图案衡量，一般会用到穿透式电子显微镜等才能较精确量测。

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