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标签　>　电感耦合

电感耦合

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第一种是间歇式刻蚀方法(BOSCH)，即多次交替循环刻蚀和淀积工艺，刻蚀工艺使用的是SF6气体，淀积工艺使用的是C4F8气体

2023-07-14 标签：TCP SSP 电感耦合 5512 0

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无机质谱仪的特点是什么？

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