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电子发烧友网>RF/无线> - 射频微机电系统开关软磁悬臂梁微电镀工艺

- 射频微机电系统开关软磁悬臂梁微电镀工艺

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以受均布荷载和集中荷载的变截面悬臂梁为研究对象,通过matlab编制四节点和八节点四边形单元有限元程序来对悬臂梁进行受力分析。
2022-09-08 11:11:562514

MEMS电镀金属掩模工艺优化及构建仿真模型

微机电系统(MEMS)工艺中,沉积金属作为掩模是目前较为常用的方法。金属掩模的制备一般采用溅射与电镀结合的方式,在衬底上先溅射用于电镀工艺所沉积金属的种子层,然后采用电镀的方式生长金属掩模。
2022-11-25 10:13:031203

一种基于微悬臂梁的电流天平的光子力测量MEMS装置

首次提出了一种基于微悬臂梁的电流天平的光子力(PF)测量MEMS(pfMEMS)装置。
2023-02-01 10:32:121190

YELI-X301悬臂梁称重传感器

  YELI-X301 悬臂梁式称重传感器 该传感器弹性体采用剪切或弯曲悬臂梁结构,一端固定,一端受力,外形高度低,结构强度高,可用于各种拉伸力和压缩力的承载和测量。具有:防尘密封、量程范围
2023-04-25 02:57:00242

基于压阻式悬臂梁的低频高灵敏MEMS麦克风助力健康监测应用

提出了一种基于压阻式悬臂梁的MEMS麦克风,通过设计极其容易弯曲的结构在0.1 - 250 Hz的频率范围内实现了约0.2 mPa的分辨率
2023-05-09 09:21:15275

基于微悬臂梁的MEMS探针中与倾斜相关定位误差的量化和校正

就微型探针而言,已经研究了避免误差的自动定位技术。量化并控制倾斜误差,对于利用微悬臂梁优化自动化探针测试至关重要。然而,后者的研究还没有考量潜在的微型MEMS探针的机械柔韧性。微悬臂梁可用于制造各种微型电气探针,包括射频探针。
2023-05-17 09:51:30500

基于部分耗尽SOI CMOS技术的单片集成微悬臂梁生物传感器

)下的应用。 据麦姆斯咨询报道,近日,北京大学于晓梅教授课题组开发了一种基于部分耗尽(PD)绝缘体上硅(SOI)CMOS技术的单片集成微悬臂梁传感器,其中压阻式微悬臂梁阵列及其片上信号处理电路都制作在SOI晶圆的器件层上。与体硅CMOS电路相比,这种单片集成工艺利用了高应变灵敏度因数的硅基微悬臂梁和低寄生电容、
2023-05-28 12:18:37519

虹科技术 | 用于气体密度和粘度传感器应用的压电 MEMS 悬臂梁的设计、模拟、制作和表征

虹科技术用于气体密度和粘度传感器应用的压电MEMS悬臂梁的设计、模拟、制作和表征摘要经设计、模拟、制作和测试,基于MEMS悬臂的谐振器用于压电驱动和感测的气体监测。氮化铝(AlN)用作活性材料来实现
2022-10-31 14:55:45429

基于双压电悬臂梁的交变梯度磁力计设计

。AGM在兼顾灵敏度的同时,又可用于微量样品的测量。对于AGM而言,以探头为核心的悬臂梁系统是其重要组成部分,悬臂梁系统的优劣直接影响到AGM的性能。
2023-08-07 10:15:48296

微机电系统(MEMS)的基本工艺和应用

微机电系统(Micro- Electro - Mechanical System, MEMS)是指将微电子器件、微结构与微机械组件(微传感器、微执行器)集于一体的集成系统,它代表一种在电子领域与其
2023-11-14 09:25:03424

关于射频微机电系统开关的那些事儿

关于射频微机电系统开关的那些事儿
2023-12-06 14:58:35208

ADI公司突破性的微机电系统(MEMS)开关技术

电子发烧友网站提供《ADI公司突破性的微机电系统(MEMS)开关技术.pdf》资料免费下载
2023-11-27 09:52:201

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