光子晶体LED制程 - 蓝光LED光子晶体技术原理及制程详解

7、光子晶体LED制程

　　制作的光子晶体LED 上透明电极的影响作的解释，可以看到，无论有没有涂上透明电极，对发光效率并没有很大影响。根据这个结果，我们就很放心的在光子晶体上覆上一层透明电极。利用蓝宝石作为基板，再经过MOCVD、EB 和RIE ETCHING 等等制程，制作出来二次元的光子晶体LED。

　　根据我们的说法，目前暂时是利用EB 的方式，但以后在正式量产或商品化时，就会用另一个成本更低的做法，另外还会做乾式(Dry)Etching，再形成一个透明电极和电极板。就理论来说，在计算后的结果应该是高出3 倍的，但是在这次实验后，得出的结果却只有高出50%。分析原因有可能是在光子晶体形成的制造过程中，所使用的数值并不是最适当的数值。所以我们相信，只要改变这个流程，发光效率应该就会像计算的数值一样达到3 倍。

　　此外，另外一个可能是在制程中出现一小瑕疵，那就是在芯片中有一个小裂缝，而这个裂缝的出现，也会影响到整个LED 的发光效能

　　8、透过透明电极可达到大面积的发光

　　我们是第一个将光子晶体运用导入蓝色LED，而且很成功。发光效率达到1.5 倍。相信业界透过这样不断的研究，显示出固体白光照明的商品化应该是指日可待的。这个技术绝对可以运用并量产。另外一点，光子晶体的独特设计使得长周期构造可以实现。因为这样的长周期构造让GaN的光子晶体的应用更容易实现。另外，经过实际的制作后，我们也证实了一件事，在光子晶体的表面都覆上了一整面的透明电极，这样一个独特设计，使得大面积的发光能够具体实现。