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非晶硅的制备

2010年07月18日 11:23 www.elecfans.com 作者：本站 用户评论（0）

1）等离子化学气相沉积法
       该法主要是采用H2稀释的硅烷气体的热分解，硅烷分解生成硅原子，
沉积在衬底材料上形成非晶硅薄膜。

太阳能电池的制备

硅片切割-- 去除损伤层--制绒－扩散－刻蚀
－PECVD沉积减反射层 －丝网印刷上下电极
－烧结形成金属接触－分类检测－包装

非常好我支持^.^

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