总谐波失真（THD）
总谐波失真（THD）衡量在给定纯单音输入信号下输出信号的失真水平，用百分比表示。此百分比为基频以上所有谐波频率的功率之和与基频信号音功率的比值。
THD值越高，说明麦克风输出中存在的谐波水平越高。MEMS麦克风的THD利用基波的前五次谐波计算。
此测试的输入信号通常为105 dB SPL，比94 dB SPL参考高11 dB。与其它参数相比，THD在较高的输入SPL下测量，这是因为随着声学输入信号水平提高，THD测量结果通常也会提高。根据经验，输入水平每提高10 dB，THD会提高3倍。因此，如果在105 dB SPL时THD小于3%，则在95 dB SPL时THD将小于1%。
切勿将此参数与总谐波失真加噪声（THD + N）混为一谈，后者不仅衡量谐波水平，而且包括输出中的所有其它噪声贡献。
电源抑制比（PSRR）
麦克风的电源抑制比（PSRR）衡量其抑制电源引脚上的噪声，使之不影响信号输出的能力。PSRR通过将一个217 Hz、100 mV峰峰值正弦波施加于麦克风的VDD引脚来测量。PSRR测量将给出从麦克风的输出来看，此输入信号衰减了多少dB。此参数之所以使用217 Hz频率，是因为在GSM电话应用中，217 Hz开关频率通常是电源的一个主要噪声源。
MEMS麦克风的数据手册也会显示100 Hz至10 kHz频率范围内的PSRR。这些麦克风具有出色的低频噪声抑制性能（模拟麦克风小于-70 dBV，数字麦克风小于-80 dBFS）。如图6（选自ADMP404数据手册）所示，PSRR在高频时提高到略低于-50 dB的水平。
图6. 典型电源抑制比与频率的关系
最大声学输入
最大声学输入指的是麦克风能够承受的最高声压级（SPL）。高于此参数的SPL会导致输出信号发生严重的非线性失真。最大声学输入用峰值SPL来规定，而不是均方根值。
ADI公司MEMS麦克风的最大声学输入为120 dB，相当于空气中的20 Pa声压级。