陶瓷压力传感器的结构图
陶瓷压力传感器的基本结构包括:
一个足够厚和硬的基座,所以在外力的作用下,我们可以认为基座不会变形;
在上面覆盖有一层膜片,直径与传感器外围的尺寸基本一致。
在这两层之间,是一个用(红色)玻璃在高温下封装的空间,它将两层紧紧结合在一起。因此,机械
的夹紧和空间的封装是同时进行的。
当施加压力时,膜片的自由部分会弯曲,用玻璃封装的红色夹层不会移动。
膜片的形变会被 4 个压敏电阻感知,这些电阻共同组成惠斯通电桥。
膜片的外围直径比会基座的外围直径略小, 这样使得用玻璃封装过程中可能产生的不一致, 不会对传
感器封装到外壳中时产生问题。
陶瓷压力传感器结构组成
陶瓷压力传感器主要由瓷环、陶瓷膜片和陶瓷盖板三部分组成。陶瓷膜片作为感力弹性体,采用95%的AL2O3瓷精加工而成,要求平整、均匀、质密,其厚度与有效半径视设计量程而定。瓷环采用热压铸工艺高温烧制成型。陶瓷膜片与瓷环之间采用高温玻璃浆料,通过厚膜印刷、热烧成技术烧制在一起,形成周边固支的感力杯状弹性体,即在陶瓷的周边固支部分应形成无蠕变的刚性结构。在陶瓷膜片上表面,即瓷杯底部,用厚膜工艺技术做成传感器的电路。陶瓷盖板下部的圆形凹槽使盖板与膜片之间形成一定间隙,通过限位可防止膜片过载时因过度弯曲而破裂,形成对传感器的抗过载保护。