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将非晶硅太阳能电池改造为光电折射气体传感器

2022年11月11日 09:43 MEMS 作者:麦姆斯咨询殷飞 用户评论(0

据麦姆斯咨询报道,近日,由埃及米尼亚大学(Minia University)、西班牙马德里大学(University Complutense of Madrid)、阿尔卡拉大学(University of Alcalá)、胡安卡洛斯国王大学(University Rey Juan Carlos)的研究人员组成的团队在Scientific Reports期刊上发表了题为“Optoelectronic refractometric sensing device for gases based on dielectric bow-ties and amorphous silicon solar cells”的最新论文,通过添加介电蝴蝶结形谐振结构,研究团队将非晶硅太阳能电池改造为光电折射气体传感器

当介电蝴蝶结形结构由SiO₂制成时,提出的气体传感器的灵敏度为2.4×10⁴(mA/W)/RIU,品质因数FOM=107RIU⁻¹,这项研究成果为将等离子体折射传感器纳入更简单、更紧凑的设计中奠定了基础。

近三十年来,基于等离子体效应的光学传感已经在许多领域得到了应用。该技术已被证明可被用于材料鉴定、食品质量保障、比色法、环境质量测试或生物传感等应用。专注于环境应用,需要高分辨率和高灵敏度器件来检测极少量的大气污染物,如碳氢化合物、挥发性有机化合物(VOC)、有害微生物等。

空气质量和成分的监测可以通过测量其折射率来实现,这也取决于其他物理参数(温度和压力)和大气的化学成分(湿度、天然或人造样本的存在)。因此,折射传感器可以检查某些预设条件是否满足,或者已知样本的浓度是否改变。

由于其狭窄的选择性响应,基于表面等离子体共振(SPR)的光电器件环境监测和传感的解决方案之一。该技术可被应用于气体传感、折射率传感和化学传感。它们也可以包含在多功能和多参数传感器中。等离子体传感器可以从角度、光谱和光电三个方面进行解调。

当使用等离子体响应的角度依赖性时,该系统通常需要移动部件和高精度测角仪或昂贵的集成读出系统。光谱解调也是如此:它需要在照明和/或探测臂中使用高分辨率单色仪。纯光电解调方法得益于传感器本身传递的电信号,而不需要移动部件和/或单色仪。这一事实简化了解调子系统,使传感器更紧凑、更可靠。

太阳能电池可以被视为一种已经制造好的低成本光探测器。尽管它被设计为宽光谱光伏探测器,但它可以很容易地通过纳米结构超构表面产生的SPR激发而进行选择性响应。

作为一个整体,这个定制器件成为了一个自供电的光电传感器。有机和无机薄膜太阳能电池是低成本、轻量和紧凑型传感器件的最佳选择。其中,氢化非晶硅(aSiH)电池是一种采用多种、无毒和稳定的材料的商用器件,并且价格相当实惠。

在本论文中,基于氢化非晶硅(aSiH),通过添加介电蝴蝶结形谐振结构,研究团队将其改造为以光电解调的折射气体传感器。铟透明氧化物顶部电极被薄金属层取代,以选择性地防止光直接传输到电池的有源层。然后,将一介电蝴蝶结形结构阵列置于该电极的顶部,以通过表面等离子体共振激活光学吸收。

整个器件暴露于被测分析物(周围介质)中。他们选择了三种不同的低、中和高折射率的介电材料作为蝴蝶结形结构,即氟化镁(MgF₂)、二氧化硅(SiO₂)和氮化铝(AlN)已被测试作为SPR激发的耦合结构。通过优化这种结构的几何参数,他们实现了读出/短路电流的最大化。

该设计针对气体测量应用进行了定制,其折射率比1略高约10⁻⁴。他们的分析表明,当介电蝴蝶结形结构由SiO₂制成时,提出的光电折射气体传感器的超高灵敏度为2.4×10⁴(mA/W)/RIU,品质因数FOM=107RIU⁻¹。

与先前的文献报道相比,其性能具有竞争力,而且还具有可以规避移动部件和光谱解调元件的额外优势。

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图1(a)传统和(b)提出的改造设计的aSiH薄膜太阳能电池的层状结构
 

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图2 本论文提出的光电折射气体传感器设计的三维示意图

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图3 光电折射气体传感器的性能

综上所述,研究团队提出的设计为利用光伏技术和超构表面的优势,将等离子体折射传感器纳入更简单、更紧凑的设计中奠定了基础。

论文信息

https://doi.org/10.1038/s41598-022-21299-w







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( 发表人:刘芹 )

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